還要考慮散熱。

光照在水上會加熱水，這種事平時不算什麽，但光刻機是極為精密的設備。

給水散熱最好的方法就是讓水流動起來，但是水一流動，就又可能會形成氣泡，所以出水口的形狀、位置都得經過嚴格計算。

光是為了給他們做純水泵和單向閥，就差點難死東升重工！

此外還要考慮到底是把整個工作台浸沒在水中,還是僅鏡頭浸在水中……

這其中反反複複實驗了不知道多少遍，才得到了一個技術上較為可行，經濟上較為合算的結果。

進入廠房，楊東升看了一眼旁邊的楊淼，雖然隻能看到眼睛，但是看得出他對這裏很感興趣,“怎麽樣，這裏乾淨吧？”

“嗯！”楊淼點點頭。

隨同他們一起參觀的還有幾位國內半導體領域的專家。

同樣一身無塵服的黃副總邊走邊介紹,“這台光刻機是八十年代初製造的，使用的是波長0.436微米的汞燈G線，孔徑數值0.3，分辨尺寸隻有0.89微米。目前經過我們的改造，已經可以達到0.35微米製程，追上了九十年代中期的國際先進水平！”

眾人聞言紛紛點頭。

黃副總繼續道，“我統計了一下總公司，以及各子公司、關聯公司的同類設備，光是這一項就可以為公司節約投資20個億，年增加產值5個億以上！讓一大批老設備煥發新春！”

楊東升問，“如果把咱們最先進的光刻機拿出來，你們能做到什麽程度？”

“這個……”黃副總登時有點卡殼，“咱們公司最先進的光刻機采用的是193納米準分子激光光線，這個等級的光刻機目前我們還沒有能力進行改造,而且蝕刻機、光刻膠達不到,僅對對光刻機技術改造也無法生產。”

楊東升還是太心急了！

半導體生產就是典型的木桶理論,你能生產出什麽樣的設備，不在於你能達到的上限有多高，而在於你的下限。

即便現在楊東升能拿出一台阿斯麥極紫外線光刻機,也生產不出10納米以下製程的芯片。

“很好了！”楊東升拍了拍黃副總的肩膀，“美國人、日本人搞了幾十年，才達到目前的水平，咱們才搞了幾年？未來二十年內，咱們能追到國際先進水平2年以內，就算咱們成功了！”

這時一個看起來瘦瘦的專家道，“利用水的折射特性，實現技術飛躍確實是一個好方法，可是光線波長到193納米以下，就會被水強烈吸收了，你們有沒有考慮過將來？”

“倪老師，浸沒式隻是我們過渡方案！”黃副總對這位瘦瘦的專家很恭敬，“下一代光源技術，我們正在研發中！”

“為什麽用水就可以實現技術飛躍？”忽然一個明顯與周圍氣氛不符的聲音響起。